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高頻壓力傳感器工作原理

發(fā)布日期:2023-02-27

高頻壓力傳感器是一種能夠測(cè)量高速變化的壓力信號(hào)的傳感器。它有多種類型和結(jié)構(gòu),其中一種常見(jiàn)的是MEMS壓力傳感器。

它的工作原理是:

壓力傳感器利用壓阻效應(yīng)原理,即當(dāng)材料受到應(yīng)力時(shí),其電阻值會(huì)發(fā)生變化;

壓力傳感器采用三維集成電路工藝,在單晶硅片薄膜上制成四個(gè)應(yīng)變電阻,構(gòu)成一個(gè)惠斯通檢測(cè)電橋;

當(dāng)被測(cè)介質(zhì)施加壓力時(shí),橋壁電阻值發(fā)生變化,產(chǎn)生一個(gè)差動(dòng)電壓信號(hào);

這個(gè)信號(hào)經(jīng)專用放大和濾波處理后,輸出一個(gè)與壓力成正比的模擬或數(shù)字信號(hào)。

壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應(yīng)速度快、靈敏度高等特點(diǎn),適用于汽車、航空、醫(yī)療等領(lǐng)域的高頻動(dòng)態(tài)壓力測(cè)量。

高頻壓力傳感器

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